裝置現(xiàn)有產(chǎn)能6000噸/年，采用國(guó)際先進(jìn)技術(shù)和先進(jìn)裝備建成，目前產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定保持在G5等級(jí)，行業(yè)領(lǐng)先，廣泛應(yīng)用于存儲(chǔ)類(lèi)、邏輯類(lèi)和車(chē)載功率半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，我們的產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)了國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代，打破了高品質(zhì)電子化學(xué)品長(zhǎng)期以來(lái)一直被國(guó)外壟斷的局面。
產(chǎn)品介紹
裝置現(xiàn)有產(chǎn)能6000噸/年，采用國(guó)際先進(jìn)技術(shù)和先進(jìn)裝備建成，目前產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定保持在G5等級(jí)，行業(yè)領(lǐng)先，廣泛應(yīng)用于存儲(chǔ)類(lèi)、邏輯類(lèi)和車(chē)載功率半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，我們的產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)了國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代，打破了高品質(zhì)電子化學(xué)品長(zhǎng)期以來(lái)一直被國(guó)外壟斷的局面。
電子級(jí)氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，是濕電子化學(xué)品中的一種，由于電子級(jí)氫氟酸的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、性能及可靠性都有著十分重要的影響，生產(chǎn)工藝技術(shù)要求很高，目前主要依靠進(jìn)口產(chǎn)品滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。在濕電子化學(xué)品領(lǐng)域，目前國(guó)際上公認(rèn)的濕電子化學(xué)品質(zhì)含量標(biāo)準(zhǔn)是SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，共分為五個(gè)等級(jí)，其中G5為最高等級(jí)。我國(guó)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)廠家產(chǎn)品等級(jí)普遍較低，能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G4級(jí)及以上的企業(yè)包括我公司在內(nèi)僅三家左右，其余兩家為多氟多、中巨芯（原巨化股份），高端電子級(jí)氫氟酸國(guó)產(chǎn)化率低。
主要用途
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過(guò)程中的清洗和蝕刻等工序；在新型顯示領(lǐng)域，主要用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕刻等；在光伏太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，主要用于硅片表面清洗、蝕刻去邊、清洗制絨等環(huán)節(jié)。
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